电子特气被称为“芯片制造的血液”的重要材料，该气体一直受到欧美发达国家的技术封锁。位于重庆白涛新材料科技城的重庆同辉科发气体有限公司（以下简称“同辉科发”）生产的产品打破国外技术垄断，不仅实现电子特气国产化，还占到国内半壁江山，成功解决技术卡脖子问题。

落户涪陵  锐意创新迎难而上

在电子半导体领域里，电子气体广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等制程工艺中，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“血液”，并直接决定着电子半导体器件的性能优劣。但作为电子工业体系的核心关键原材料之一，高纯电子气体一直受到欧美发达国家的技术封锁。

如何打破电子特气领域的卡脖子问题并逐步实现国产化替代，成为决定我国芯片自主可控的一项重要因素。得益于涪陵区的良好投资发展环境，2016年8月，重庆同辉科发气体有限公司成立，公司位于白涛新材料科技城，利用重庆华峰化工己二酸尾气为原料，回收提纯生产液体氧化亚氮。

据介绍，电子级氧化亚氮主要用在半导体集成电路、液晶面板、太阳能、光电等行业的生产制造，在制程中的化学气相沉积过程参与反应形成氧化膜，是不可或缺的电子特气，在上述行业的生产过程中起着至关重要的作用。

2017年9月，该公司一期1万吨氧化亚氮项目顺利投产。氧化亚氮工业尾气提纯法要达到工业电子级，其难度大，一期投产后前期只能生产普通工业级，产品销售至国际气体巨头进行进一步的提纯后，返销国内的终端用户，高纯氧化亚氮气体被国外公司垄断。

价格高供应无保障，不能满足电子级客户需求，公司高层对行业的现状非常清楚，看到潜在的供应风险和隐患，也看到高质量发展的机遇，下定决心要努力实现国产化电子级氧化亚氮。同辉科发团队经过奋力拼搏，找出生产短板，通过调整生产工艺、对设备装置进行升级，高度重视发展质量强厂。在涪陵区经信委、财政局等部门给予的资金扶持下，公司购置昂贵的进口分析设备，质量不断调试，屡败屡战，于2017年12月成功产出符合客户要求的电子级氧化亚氮。

与此同时，企业获得2021年11月高新技术企业、2021年中国新型显示产业链绿色低碳奖、2021年“十三五”中国气体行业TOP10电子气体等荣誉。

攻坚克难 打破国外技术垄断

由于国内的终端客户之前都是国际气体公司巨头在供应，这些公司资金雄厚，给客户提供非常优越的产品质量条件及要求，大大提高了供应商的质量门槛。面对客户无比挑剔的质量要求，同辉科发在质量上狠下功夫。

该公司再次投入巨额资金，先后改造生产充装的设施及环境，改造质量分析的硬件条件，购置大量电子级行业标准使用的包装物。同时，聘请行业专家对公司管理及从业人员进行辅导、考核，引入先进的行业管理模式，重视质量发展及质量管理。在涪陵区委、区政府及白涛新材料科技城管委会的大力支持下，历时1年多，终于得到行业认可，替代电子级氧化亚氮国外进口，填补国内空白，产品已在国内外各大知名的集成电路、液晶面板、太阳能产业龙头公司大量稳定供应，电子特气在国产化的道路上迈出扎实一步。

功夫不负有心人。2020年6月，随着二期1万吨/年氧化亚氮项目投产，同辉科发电子级氧化亚氮达到年产2万吨，产能占到国内约二分之一，占到国内半壁江山，终于实现电子特气国产化，也成功解决国外卡脖子问题，打破国外技术垄断。

“公司对产品做专、做大、做强，深耕产品质量，开发产品的用途，制订了食品级氧化亚氮标准。”同辉科发公司相关人士表示，历时两年通过国家卫健委专家评审，是国内尾气提纯氧化亚氮唯一合法生产食品级氧化亚氮企业，减少了国内饮料行业依托进口的依赖。

目前，公司产品主要销往台湾地区、东南亚、欧洲、及国内的中芯国际、京东方、华星光电、通威太阳能、润阳光伏、三安光电等半导体、液晶面板、太阳能、光电行业等科技龙头企业，得到客户的充分认可。下一步，该公司将加大研发力度，持续提升产品质量，精细化生产，节能降耗，使产品在国际上有强大竞争力。